May 23, 2019
SunMonTueWedThuFriSat
1 2 3 4
5 6 7 8 9 10 11
12 13 14 15 16 17 18
19 20 21 22 23 24 25
26 27 28 29 30 31
 
12:301:001:302:002:303:003:304:004:305:005:306:006:307:007:308:008:309:009:3010:0010:3011:0011:3012:0012:301:001:302:002:303:003:304:004:305:005:306:006:307:007:308:008:309:009:3010:0010:3011:00
Tool #9 E-beam Lithography System                                     Dong Yan                                                      
Tool #11 CVD Furnace                                                                                            
Tool #3 PECVD System                                                                                            
Tool #53 Reactive Ion Etch System (RIE) (Under Maintenance)                                                                                            
Tool #54 ICP Etch System (Under Maintenance)                                                                                            
Tool #52 Rapid Thermal Aneal System (RTA)                                                                                            
Tool # 15 Karl Suss Mask Aligner                                           Davil Garcia                                            
Tool #15A Quintel Mask Aligner                                                                                            
Tool #1 Tabletop Plasma Asher                                                                                            
Tool #4 E-Beam Evaporator                                               Davil Garcia   Tang Su     Michelle Wurch                          
Tool # 5 Thermal Evaporator                                                                                            
Tool #6 TES Sputter System #1                                                                                            
Tool #58 Focused Ion Beam (FIB)                                       Michelle Wurch     Tang SuDong YanMichelle Wurch                                
Tool #23 Surface Profilometer                                                                                            
Tool #24B Ellipsometer                                                                                            
Tool #70 Dimension 5000 AFM                                                                                            
Lab Cleanup                                                                                            
Atomic Layer Deposition                                                                                            
Tool #4A E-beam Evaporator 2                                           Davil Garcia         Michelle Wurch                          
Tool #6A AJA Sputter System #2                                 Amy Aube   Davil Garcia                                      
Tool #70A Dimension 3100 AFM (Under Maintenance)                                                                                            
Tool #71 Silicon Trench Etch                                                                                            
Tool #72 Metal Trench Etch